氧气是重要的工业气体，广泛应用于钢铁、有色冶金、化工、炉窑节能、环保（污水处理、NOx处理、垃圾焚烧）、玻璃、造纸、医疗等行业。
真空变压吸附制氧（VPSA）是以空气为原料，用锂基分子筛作吸附剂，利用锂基分子筛对空气中的氧和氮选择吸附的特性，运用变压吸附原理，加压吸附氮气，减压解吸并使分子筛再生，而在常温使氧和氮分离，塔顶得到氧气产品。
VPSA真空变压吸附制氧工系统主要由鼓风机、真空泵、切换阀、吸附塔和氧气缓冲罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后,被罗茨鼓风机增压后进入其中一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂,其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被底部的活性氧化铝所吸附,氮气被上部的沸石分子筛所吸附。而氧气(包括氩气)为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气缓冲罐。
当吸附剂将达到饱和状态, 通过切换阀,首先经过均压降压过程,将吸附塔死空间内的部分氧气回收,同时将吸附塔压力降至微负压，再利用真空泵对之进行抽真空。吸附的水分、二氧化碳、氮气及少量其它气体组分被抽出并排至大气,吸附剂得到再生。
技术优势
1. 独特的吸附塔结构和工艺，气流分布均匀，氧气收率高；
2. 工艺流程简单、操作方便、自动化程度高、可实现网络远程监控，无人值守；
3. 高频高速切换阀，开启速度快，使用寿命长；
4. 用双出轴电机一拖二配置，占地面积小，投资省、回收期短；
应用领域
化工、炼钢、玻璃、污水处理、制药、造纸等需要大量氧气的行业
